电子背散射衍射(Electron Back Scatter Diffraction, EBSD)是一项在扫描电镜中获得样品晶体学信息的技术。EBSD利用背散射电子衍射,获取晶体取向(crystal orientation)、晶界取向差(grain boundary misorientations),物相等晶体学信息。
EBSD保留了扫描电子显微镜的特点,与金相、XRD、SEM等表征手段相比,其可获取更为丰富、精度更高的晶体学信息,从而可对样品表面的特征进一步分析。
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02 电子背散射衍射(EBSD)基本原理
当入射电子束进入样品后,会有部分电子因散射角大而从样品表面逸出,这些逸出的电子称为背散射电子。在这些逸出电子中,满足布拉格衍射条件(2dsinθ=nλ)的电子会发生衍射,EBSD利用这些电子的衍射得到一系列菊池花样。
根据菊池花样的特点得出晶面间距 d 和晶面之间的夹角 θ,从数据库中查出可能相关的晶体结构和晶胞参数;再利用化学成分等信息,采用排除法确定该晶粒的晶体结构,并得出晶粒与膜面法向的取向关系。